Es sollten 3 Möglichkeiten sein.
Plasmaätzen geht in den meisten Fällen.
Anisotropes Material: Ich bin mir nicht sicher, aber ich glaube es gibt auch Metalle, die anisotrop Kristallisieren.
Die Ätzraten sind für manche Material / Ätzkombinationen unterschiedlich in senkrechter bzw. lateraler Richtung. Evtl. lässt sich der Ätzvorgang unter Bedingungen betreiben, bei denen die Rückreaktion (=Abscheidung des Materials das geätzt werden soll) genau so groß ist, wie die Ätzrate in lateraler Richtung. d. h. es entstehen nur geringste Unterätzungen. Die Variation in den senkrechten bzw. lateralen Ätzraten kann manchmal durch die Viskosität der Ätze beeinflusst werden.
Aber zuhause hat man aber eher selten eine Plasmaätzanlage. Dummerweise handelt es sich meistens auch nicht um ein anisotropes Material. Die besondere Ätze: gibts für einig Material - Lack Kombinationen zu bestellen. Rezeptur selbst ist meistens nicht bekannt.