Die Aufgabenstellung läßt ja noch einges offen.Zitat von Michi1814
Bei berührungsloser Positionsbestimmung denkt man sicher zuerst an optische Abtastung.
Da es sich insgesamt um Transport handelt gibt es auch eine Bewegung relativ zum Wafer.
Es kann dann unter entsprechenden Umständen auch eine einfache Lichtschranke pro Bewegungsrichtung zur Postitionsbestimmung eingesetzt werden.
Manfred
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