Wenn derµC ohne Spannung programmiert wird, fliesst ein Strom von den ISP-Pins über die internen Clamp-Dioden nach VCC und weiter zu C8 (falsch eingezeichnet), der dann leer ist. Es gibt also kurz einen recht hohen Strom, was möglicherweise die Clamp-Dioden frittiert. Möglicherweise sind die dauerleitend geworden?