Es geht vor Allem darum eine relativ gerade Zahl zu habe.
Wenn du halt eine Einheit auf 1 uS genau bestimmen willst, dann muss der Timer nach 256-Quarzfrequen/1Mio überlaufen. Bei einer Quarzfrequenz x,xxx ist das schwer, weil es natürlich keine 0,xxx langen Takte gibt.
Je nachdem wie genau die Skalierung des cycles sein soll, also 1 uS oder 2 oder 5 bleibt halt mehr oder weniger Zeit für andere und diese Funktion, deshalb ist im Grunde zu einer hohen Qurarfrequenz zu raten. Wenn du Beispielsweise eine Skallierung von 5 nimmst, hast du bei 10 Mhz 50 Takte bis zum nächsten Interrupt, dass ist nicht gerade viel!

Wie genau darf/muss es sein, reichen auch 10 uS?

MFG Moritz