ungleichmäßge Pulslängen bei PWM mit TIMER1 auf mega8

[The Man]

Hallo da,

ich habe im Mega8 den Timer 1 so aufgesetzt, dass ich über Pin OC1A ein PWM bekomme.
Hier die Bitmuster:

TCCR1A |= (1<<COM1A1)|(1<<WGM11);
TCCR1B |= (1<<WGM13)|(1<<WGM12)|(1<<CS10);
ICR1 = 1500;
OCR1A = 250;

Aus irgendeinem Grund erhalte ich ungleichmäßige Pulslängen. Sie Attechment.
Hat jemand eine Idee, woran das liegt?
Hab das auch schon auf zwei Controlern getestet.

mfg,
The Man