Verständnissprobleme mit $prog und Fusebit

[raidy]

Ich habe ein Programm für den Attiny25 geschrieben, bei dem ich "external Reset" auf Disable (Fusebit High Z), "Divide Clock by 8 ON" (Fusebit H) und auch Fusebit 543 "BOS enabled 2.7V" haben will.
Bisher ging ich wie folgt vor:
1) Ich brenne nur das Programm
2) Ich setze die Fusebit von Hand, den external Reset disable zuletzt und bestätige dies mit FS/FSH

Das würde ich jetzt gerne in einem Aufwasch machen und bin auf die Idee mit $prog gekommen
Ich habe alle Fuse so eingestellt wie ich sie will und dann Write Prog gedrückt. Mit dem "write PRG" Button wird in mein Programm folgende Zeile aufgenommen:
$PROG &HFF,&H62,&HDF,&HFF' generated. Take care that the chip supports all fuse bytes.
Vorher (ohne Änderung von Fuse Z und 543, und H) sah es so aus:
$prog &HFF , &H62 , &HDF , &HFF
Warum sieht man keine Änderung? der Fehler liegt ganz sicher vorm Bildschirm. Wie ist die richtige Reihenfolge/Vorgehensweise?